MEMS微振镜C1100/C1130/C2110/C2120
MEMS微振镜
C1100/C1130/C2110/C2120
MEMS微振镜是一款将可动结构芯片化的光学器件，可取代传统电机，实现激光光束的高速、动态扫描。MEMS微振镜由单晶硅加工制成，具有可靠性高、体积小、重量轻、易批量化等特点。大阳城集团娱乐游戏提供的MEMS微振镜镜面尺寸为1mm-3mm，镜面镀金，对红外光有较好的反射率，目前已广泛应用于激光雷达、机器视觉、激光打印等应用场景。
基本特征
基本特征
大阳城集团娱乐游戏研制的MEMS微振镜为静电驱动谐振式微振镜，具有体积小、重量轻，功耗低，寿命长，成本低等特点。
体积小，重量轻
体积小，重量轻
功耗低
功耗低
寿命长，可靠性高
寿命长，可靠性高
易批量化，成本低
易批量化，成本低
应用领域
机器视觉
激光雷达
激光投影
影像医疗
产品参数
产品参数
 |  |  |
| |
型号 | C1100 | C1130 | C2110 | C2120 |
轴数
| 单轴 | 单轴 | 双轴 | 双轴 |
镜面直径 | 1.3mm | 3mm | 1mm | 1mm |
频率 | 5.8kHz±10% | 1.15kHz±10% | 快轴：13kHz±10% 慢轴：1.2kHz±10% | 快轴：25kHz±10% 慢轴：2.3kHz±10% |
光学扫描角 | ±30° | ±30° | ±30° | ±30° |
镜面镀膜 | 金 | 金 | 金 | 金 |